Canon Anelva二手物理氣相沉積PVD設(shè)備FC7100于2011年開始投入使用,適用于12英寸晶圓。
特點(diǎn):
能夠通過超高真空共濺射控制薄膜成分。
高精度控制(0.1nm單位)膜厚和優(yōu)異的均勻性(1σ<1%)。
兼容亞32nm節(jié)點(diǎn)或更小的鑲嵌柵形成工藝。
(使用 PCM-PVD 方法進(jìn)行高覆蓋率沉積)。
通過使用緊湊型陰極降低材料成本。輕松更換材料。



青島佳鼎實(shí)驗(yàn)室,坐落于城之向陽地——城陽。自2011年成立之初,便誓將科技之光照耀四方。
十年的時(shí)間里,公司因擴(kuò)展數(shù)度搬遷,最后選擇接受博士創(chuàng)業(yè)園的吸納并安家落戶。與此名交相輝映的是我們30余人的研發(fā)團(tuán)隊(duì),也是以博士后為主。這就為我們今后的發(fā)展奠定了堅(jiān)實(shí)的基礎(chǔ),使我們?cè)谖磥淼陌l(fā)展中,有底氣的大踏步前進(jìn)。目前,佳鼎實(shí)驗(yàn)室已經(jīng)形成了一站式服務(wù),不僅有實(shí)驗(yàn)室分析儀器設(shè)備的研發(fā)和銷售,更有實(shí)驗(yàn)室的整體交付。做到了初時(shí)毛坯,再見時(shí)嚴(yán)謹(jǐn)整潔,隨時(shí)可以為人類健康貢獻(xiàn)自己的力量。
產(chǎn)品服務(wù)于各行各業(yè),從科研機(jī)構(gòu)到環(huán)境、食品,從醫(yī)藥生物到電子電器。我們從不止步于國內(nèi),放眼,我們聯(lián)合了包括美國賽默飛世爾、日本島津、在內(nèi)的多國實(shí)驗(yàn)室,并且積累了大量的科研資料,在分析設(shè)備的研發(fā)領(lǐng)域做了大量的深度工作。
佳鼎實(shí)驗(yàn)室堅(jiān)信以質(zhì)量為生命,以客戶為中心的經(jīng)營理念,為打造實(shí)驗(yàn)室建設(shè)規(guī)范化而不斷奮斗。
Canon Anelva二手物理氣相沉積PVD設(shè)備FC7100于2011年開始投入使用,適用于12英寸晶圓。
能夠通過超高真空共濺射控制薄膜成分。
高精度控制(0.1nm單位)膜厚和優(yōu)異的均勻性(1σ<1%)。
兼容亞32nm節(jié)點(diǎn)或更小的鑲嵌柵形成工藝。
(使用 PCM-PVD 方法進(jìn)行高覆蓋率沉積)。
通過使用緊湊型陰極降低材料成本。輕松更換材料。



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