SEMVision G2 的檢測組裝和處理使微小和淺缺陷的高質(zhì)量地形圖像成為可能。高動態(tài)范圍檢測、背散射電子收集和能量過濾可實(shí)現(xiàn)高縱橫比成像。
基本信息：
型號：AMAT SEMVision G2 +
描述：缺陷審查系統(tǒng)
晶圓尺寸：300mm
序列號：多個系統(tǒng)可用
保修：按原樣或按客戶規(guī)格翻新
參數(shù)規(guī)格：
1 KeV 時的分辨率：3 nm
焦點(diǎn)圖/焦點(diǎn)偏移：90% 的缺陷，Delta Z < 3 μms
自動缺陷偏移/XY 圖：95% 的缺陷 Delta X < 1.5 μm 和 Delta Y < 1.5 μm
EDX 分辨率：4nm
晶圓產(chǎn)量：12 晶圓 / 小時
缺陷吞吐量：>1000 個缺陷/小時
正面清潔度：0.013 PWP / cm2 > 0.2 μm 處的尺寸
基本配置：
帶 ULPA 過濾器的 FFU
掃描電鏡柱 G2
EDX 柱
45 度立柱傾斜
包括晶圓旋轉(zhuǎn)選項
載物臺晶圓支架 3 PIN
對準(zhǔn)器光學(xué)顯微鏡 X5、X20、X100
晶圓處理：
裝載機(jī)：帶 RFID 的 AMAT ADO
晶圓尺寸：300mm
ETU 300mm
國際電聯(lián) 300 毫米
軟件信息：
軟件版本（WS、IP/ODC SW、MEC、WHC）：v5.1.500 WorkStation SGI FULE
軟件版本（EDX）：VTG_5.0.107
系統(tǒng)性能：
Pal (On the OTW, cassette / Slot 1: Delta X= 500 μm; Delta Y= 500 μm
ITU Repeatability: Delta X and Delta Y < 20 μm
Stage accuracy: Delta X and Delta Y < 1.5 μm
MTR: Delta X= 50; Delta Y= 30 μm
其他設(shè)施信息：
額定負(fù)載電流：8 A
滿載電流：10A
中斷電流：10,000 安培 IC
電源電壓：1-120 VAC，1-Ph，3 線 208 V，3-Ph，5 線，50/60 Hz
