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廣電計量檢測集團股份有限公司

等離子去膠機P-MD

參考價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 公司名稱上海蒲柘光電儀器有限公司
  • 品       牌
  • 型       號P-MD
  • 所  在  地上海
  • 廠商性質(zhì)其他
  • 更新時間2025/11/27 14:02:34
  • 訪問次數(shù)35
產(chǎn)品標簽:

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上海蒲柘光電儀器有限公司總部座落于中國上海市科技創(chuàng)業(yè)基地上海松江麗德創(chuàng)業(yè)園區(qū),是一家集顯微鏡、顯微熔點儀、顯微攝像頭及圖像分析系統(tǒng)的研發(fā)、生產(chǎn)及銷售為一體的多元化高科技企業(yè)。公司擁有一支專業(yè)從事顯微儀器應用技術研究,新產(chǎn)品新技術開發(fā)的工程技術團隊,在傳統(tǒng)光學顯微成像技術上融入了攝像計算機分析系統(tǒng),不斷開發(fā)出能滿足科研教學、機械制造、電子材料、紡織纖維、地質(zhì)礦產(chǎn)、石油化工、航空航天、計量科學、軍事、農(nóng)林牧漁等幾乎所有應用領域進行研究分析的新產(chǎn)品和新技術。 隨著公司的不斷發(fā)展,公司的規(guī)模也不斷壯大,并且在北京和天津設立了分公司。目前公司已擁有自主品牌的四個產(chǎn)品系列,顯微鏡,顯微熔點儀,顯微專用攝像頭,顯微圖像分析系統(tǒng)。并且還與多家廠商保持了良好的合作關系,為客戶提供一整套包括金相制樣設備,硬度計,工具顯微鏡等實驗室產(chǎn)品的完整解決方案。上海金相,上海尚材,上海光學儀器五廠,六廠均在我公司北京和天津的分公司設立辦事處。憑借強大的銷售隊伍和技術團隊為上述合作廠家提供華北地區(qū)的產(chǎn)品推廣、技術支持和售后服務。公司秉承“技術引導潮流,質(zhì)量打造品牌”的企業(yè)宗旨,始終堅持“用戶至上,客戶滿意”的經(jīng)營理念,組建團隊、采用技術、開發(fā)產(chǎn)品、推行服務。深信以誠相待是事業(yè)成功的保障,互惠互利是連接我們的紐帶,上海蒲柘將與社會各界朋友攜手并進,共創(chuàng)美好的未來!
產(chǎn)品概述去膠工藝是微加工過程中一個重要的過程,在電子束曝光,紫外曝光等微納米加工工藝后,都要對光刻膠進行去除或打底膜處理
等離子去膠機P-MD 產(chǎn)品信息

去膠工藝是微加工過程中一個重要的過程,在電子束曝光,紫外曝光等微納米加工工藝后,都要對光刻膠進行去除或打底膜處理。光刻膠是否去除干凈對樣片是否有損傷等問題,將直接影響后續(xù)工藝的順利完成。P-MD使用性能出色的組件和軟件,可對工藝參數(shù)進行精確控制。它的工藝監(jiān)測和數(shù)據(jù)采集軟件可實現(xiàn)嚴格的質(zhì)量控制。該技術已經(jīng)成功的應用于功率晶體管、模擬器件、傳感器、光學器件、光電、EMS/MOEMS、生物器件、LED等領域。

P-MD參數(shù)(標準配置)

外部尺寸

641*533*451mm

 

真空腔尺寸

直徑210mm*230mm

不銹鋼腔體

電極尺寸

125*125mm  間距20-75mm可調(diào)

二個多控自適應平板電極

等離子體發(fā)生器

RF射頻發(fā)生器,頻率:13.56MHz

自適應阻抗匹配電源

功率

0-200W連續(xù)可調(diào)

精度1W

工藝氣體要求

1/4英寸卡套接口/15-30psig

 

工藝氣體種類

CF4=99.97%; O2=99.996%;N2=99.99%

AR=99.999%  其它氣體咨詢

氣體控制

2路針式氣體流量閥

0-300ml

控制方式

4.3寸觸摸屏

界面顯示實時工作狀態(tài)

保護裝置

一鍵急停保護按鈕

 

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