KASHIYAMA真空泵SDL Series系列
可用于大尺寸晶圓和FPD。
通過組合提供大容量。
大于150kl/min也可按需提供。
更短的周期時間。
大容量atm左右,可實現(xiàn)高壓泵送。
適用于大型L/L箱。
溶劑抽空泵也排好了。
KASHIYAMA真空泵SDL Series系列規(guī)格
型號 | SDL12E50 | SDL20E50 | SDL36M60 | SDL40E60 | SDL40E201 | SDL40EW201 | SDL80201 |
排氣速度 [L/min] *1 | 25,000 | 50,000 | 60,000 | 70,000 | 80,000 | 150,000 | 170,000 |
極限真空度 [Pa] *1 | 0.8 | 0.5 | 0.8 | 5.0 | |||
電源電壓 (50/60Hz) | 3Phase AC200~220V,?380~480V | 3Phase AC380~480V | |||||






