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廣電計量檢測集團股份有限公司

涂膠預(yù)處理HMDS系統(tǒng) HMDS處理涂底系統(tǒng)

參考價 95890 92890
訂貨量 1-2 ≥3
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱上海雋思實驗儀器有限公司
  • 品       牌雋思
  • 型       號JSHMDS
  • 所  在  地上海市
  • 廠商性質(zhì)生產(chǎn)廠家
  • 更新時間2026/1/31 10:51:35
  • 訪問次數(shù)256
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上海雋思實驗儀器有限公司(以下簡稱“雋思儀器”)是一家專業(yè)從事儀器設(shè)備研發(fā)、生產(chǎn)、銷售及服務(wù)的企業(yè)。主要生產(chǎn)半導(dǎo)體工藝設(shè)備、環(huán)境模擬儀器設(shè)備、線纜試驗機、橡塑試驗檢測設(shè)備、黑蒜設(shè)備等的高新技術(shù)型企業(yè),具有很強的自主開發(fā)、設(shè)計能力,服務(wù)于電子、電力、通訊、環(huán)保、農(nóng)業(yè),建筑,節(jié)能等行業(yè);多年來,公司以“真摯的服務(wù)、優(yōu)質(zhì)的品質(zhì)”為宗旨,為國內(nèi)外廣大用戶提供了周到的售前、售中、售后服務(wù)。贏得了國內(nèi)外客戶的*好評,更為我們業(yè)務(wù)的快速發(fā)展奠定了一定的基礎(chǔ)。我們的服務(wù)也更精益求精,更完善!
 雋思儀器主要業(yè)務(wù)有HMDS預(yù)處理系統(tǒng),HMDS烘箱,潔凈烤箱,百級潔凈烘箱,氮氣烘箱,高溫?zé)o氧烘箱,真空無氧烘箱,無塵無氧化烘箱,抗粘劑涂膠機,精密恒溫加熱臺,快速高低溫氣流儀,超低溫試驗箱,高低溫試驗箱,高低溫交變濕熱箱定做,HMDS真空涂膠烘箱,低溫脆性檢測儀,黑蒜發(fā)酵設(shè)備,導(dǎo)體直流電阻測試儀,電線電纜檢測儀器,真空烘箱,黑蒜試驗機,橡塑檢測試驗機等。
    不斷追求技術(shù)進步、提升專業(yè)服務(wù)能力,做一個專業(yè)的儀器設(shè)備供應(yīng)商是我們的發(fā)展目標(biāo)。企業(yè)內(nèi)部實施了CRM、ERP項目管理,在產(chǎn)品開發(fā)、質(zhì)量控制、集成供應(yīng)鏈、人力資源管理、財務(wù)管理等諸多方面取得了長足發(fā)展。同時建立了標(biāo)準(zhǔn)化的服務(wù)流程,形成了覆蓋全國的快速服務(wù)網(wǎng)絡(luò),以盡心盡責(zé)的服務(wù)理念和完備的技術(shù)得到用戶的*稱贊。我們將珍視每一次與您合做的機會,以飽滿的熱情、真誠的服務(wù)與您共創(chuàng)燦爛的未來!






HMDS烘箱,百級潔凈烘箱,氮氣烘箱,高溫?zé)o氧烘箱,PI烤箱,真空無氧烘箱,無塵無氧化烘箱,抗粘劑涂膠機,精密恒溫加熱臺,超低溫試驗箱
材質(zhì) 不銹鋼 工作室尺寸 300-1500mm
功率 2.3 加工定制
類型 真空 適用范圍 疏水處理、HMDS涂膠
溫度范圍 200℃ 重量 80kg
涂膠預(yù)處理HMDS系統(tǒng) HMDS處理涂底系統(tǒng)是為了增強晶圓表面的黏附性,通常使用六甲基二硅亞胺(HMDS)進行處理。
涂膠預(yù)處理HMDS系統(tǒng) HMDS處理涂底系統(tǒng) 產(chǎn)品信息

涂膠預(yù)處理HMDS系統(tǒng) HMDS處理涂底系統(tǒng)應(yīng)用于光刻工藝

   涂膠預(yù)處理(HMDS)系統(tǒng)涂底為了增強晶圓表面的黏附性,通常使用六甲基二硅亞胺(HMDS)進行處理。 將HMDS氣相沉積至半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃、藍寶石、晶圓等材料表面后,經(jīng)系統(tǒng)加溫可反應(yīng)生成以硅氧烷為主體的化合物。它成功地將硅片表面由親水變?yōu)槭杷?,其疏水基可很好地與光刻膠結(jié)合,起著偶聯(lián)劑的作用。

涂膠預(yù)處理HMDS系統(tǒng) HMDS處理涂底系統(tǒng)應(yīng)工藝性能

HMDS藥液泄漏報警提示系統(tǒng)

HMDS低液位提示

工藝數(shù)據(jù)記錄功能

程序互鎖定保護等功能

產(chǎn)品兼容:2-12寸晶圓及碎片,多個cassette,(可定制)

溫度范圍:RT-200℃

真空度:≤1torr


操作方式:人機界面,一鍵運行

儲液瓶:HMDS儲液瓶

真空泵:無油渦旋真空泵

數(shù)據(jù)處理:多個工藝方案,可修改并保存,使用數(shù)據(jù)可記錄

功能:去水烘烤、HMDS增粘劑涂布、蒸鍍固化、廢氣排放工藝基于一體。

更多用途,半導(dǎo)體制造/納米壓印光電面板處理/陶瓷新材料/納米多孔陶瓷材料/碳纖維材料/碳化硅材料等新型復(fù)合材料


控制儀表:人機界面,一鍵運行

儲液瓶:HMDS儲液量1000ml 

真空泵:無油渦旋真空泵

數(shù)據(jù)處理:多個工藝方案,可修改并記錄,使用數(shù)據(jù)可記錄



關(guān)鍵詞:真空泵 人機界面
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