產(chǎn)品概述
日本 Super-Clean Heater 超潔凈石英加熱器QH 系列，是日本專為半導(dǎo)體、液晶面板等制造業(yè)研發(fā)的超潔凈加熱元件。產(chǎn)品以高純度石英玻璃為主體，內(nèi)置真空密封的鎢絲 / 鉬絲加熱元件，杜絕金屬污染，同時(shí)具備高耐溫、優(yōu)異熱均勻性、強(qiáng)耐腐蝕性等特點(diǎn)，是半導(dǎo)體擴(kuò)散、氧化、退火等核心工藝的關(guān)鍵加熱部件，為制程提供穩(wěn)定、潔凈的加熱解決方案。
核心性能與設(shè)計(jì)亮點(diǎn)
- 超潔凈無金屬污染，適配制程采用 SiO?純度≥99.99% 的高純度透明石英玻璃，加熱絲真空密封在石英內(nèi)部，無任何金屬部件接觸工藝環(huán)境，零金屬離子溶出，適配 12 英寸晶圓制造、制程等超高標(biāo)準(zhǔn)工藝，滿足半導(dǎo)體行業(yè) SEMI 標(biāo)準(zhǔn)，從源頭避免金屬污染對(duì)芯片良率的影響。
- 高耐溫與優(yōu)異熱均勻性石英本體耐溫高達(dá) 1200℃，可長(zhǎng)期穩(wěn)定工作在 800-1000℃工藝溫度；優(yōu)化的加熱絲布局，實(shí)現(xiàn)工藝區(qū)域 ±5% 的熱均勻性，確保晶圓、面板加熱溫度一致，有效提升工藝良率與產(chǎn)品一致性。
- 強(qiáng)耐腐蝕性，適配嚴(yán)苛工藝環(huán)境石英材質(zhì)耐強(qiáng)酸、強(qiáng)堿、HF等半導(dǎo)體常用腐蝕性化學(xué)品，可在濕法工藝、刻蝕、清洗等嚴(yán)苛環(huán)境中穩(wěn)定使用，使用壽命長(zhǎng)，大幅減少設(shè)備維護(hù)與元件更換成本，適配半導(dǎo)體工廠 24 小時(shí)連續(xù)生產(chǎn)需求。
- 真空密封結(jié)構(gòu)，多場(chǎng)景適配采用真空密封工藝，漏率≤1×10?? Pa?m3/s，可直接用于真空腔體、常壓腔體等各類工藝環(huán)境，適配半導(dǎo)體擴(kuò)散、氧化、退火、CVD 等多類核心工藝，一臺(tái)元件覆蓋多類加熱需求。
- 定制化設(shè)計(jì)，適配各類設(shè)備支持直型、槽型、板型等多種結(jié)構(gòu)定制，可根據(jù)客戶腔體尺寸、功率需求、安裝方式量身定制，適配各類半導(dǎo)體 / 液晶制造設(shè)備，無需改造設(shè)備結(jié)構(gòu)，降低現(xiàn)場(chǎng)施工成本。
日本 Super-Clean Heater 超潔凈石英加熱器QH 系列 技術(shù)參數(shù)與配置
設(shè)備額定功率覆蓋 100W~5000W，額定電壓可定制，使用溫度 1200℃；標(biāo)配高純度石英本體、真空密封加熱絲、接線端子，可根據(jù)客戶需求定制尺寸、功率、結(jié)構(gòu)；提供原廠合規(guī)性證明文件，適配晶圓廠審計(jì)要求。
售后服務(wù)
產(chǎn)品提供原廠技術(shù)支持，可協(xié)助客戶完成選型、安裝調(diào)試；提供定制化設(shè)計(jì)、維修、更換等全生命周期服務(wù)，保障設(shè)備長(zhǎng)期穩(wěn)定運(yùn)行。
