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行業(yè)產(chǎn)品

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成都沃特塞恩電子技術(shù)有限公司


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HMPS-2060SP微波等離子體(CVD)系統(tǒng)

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產(chǎn)品型號(hào)

品       牌

廠商性質(zhì)生產(chǎn)商

所  在  地

聯(lián)系方式：宛女士查看聯(lián)系方式

更新時(shí)間：2022-07-11 17:41:01瀏覽次數(shù)：463次

聯(lián)系我時(shí)，請(qǐng)告知來(lái)自 環(huán)保在線

經(jīng)營(yíng)模式：生產(chǎn)廠家

商鋪產(chǎn)品：47條

所在地區(qū)：四川成都市

聯(lián)系人：宛女士 （市場(chǎng)專員）

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

HMPS-2060SP微波等離子體(CVD)系統(tǒng) 沃特塞恩旗下的和瑞微波事業(yè)部專業(yè)從事微波能、微波等離子體應(yīng)用技術(shù)研發(fā)及MPCVD設(shè)備生產(chǎn)、具有多項(xiàng)自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)……，我司生產(chǎn)的這款型號(hào)為HMPS-2060SP的微波等離子體CVD設(shè)備具有以下優(yōu)勢(shì)特點(diǎn)：. 采用沃特塞恩第三代高穩(wěn)定固態(tài)功率源；上饋式圓柱型放電腔。. 性能*，安全、可靠性強(qiáng)、重現(xiàn)性好，操作簡(jiǎn)便。. 多......

詳細(xì)介紹

技術(shù)規(guī)格
（1）型號(hào)HMPS-2060SP
（2）電源 AC380±10% V 三相五線制 50Hz，額定輸入＜18KVA
（3）微波輸出功率 0.5~6kW 連續(xù)可調(diào)
（4）功率穩(wěn)定度  1%（@穩(wěn)態(tài)）
（5）紋波≤1%
（6）微波頻率   2450MHz±50MHz
（7）測(cè)溫方式     紅外300~1400℃
（8）極限真空度 6×10-6torr
（9）腔體內(nèi)工作壓力   7torr~250torr
（10）樣品臺(tái) Φ60mm
（11）樣品臺(tái)軸向調(diào)節(jié)范圍 0-60mm
（12）工作氣氛五路（可用戶定制）
（13）微波泄漏值 ＜5mW/cm2
（14）工作環(huán)境 溫度15-40℃，相對(duì)濕度≤60%，無(wú)腐蝕性氣體
（15）冷卻水  ＞37L/Min


應(yīng)用范圍

高品質(zhì)單晶金剛石、多晶金剛石的批量生長(zhǎng)。

多種薄膜的CVD制備、材料表面處理和改性、低溫氧化物的生長(zhǎng)等。

適合光學(xué)、電子、工具級(jí)金剛石膜或單晶、石墨烯等的產(chǎn)業(yè)化生產(chǎn)，材質(zhì)表面處理、低溫氧化物的生長(zhǎng)等。



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