1200℃雙溫區(qū)3路質量供氣高真空CVD系統(tǒng)

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產品型號CY-CVD1200-50-200×200-3TH-Q

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所在地鄭州市

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更新時間：2025-12-02 13:23:10瀏覽次數：33次

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  CVD氣相沉積系統(tǒng)

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鄭州成越科學儀器有限公司

經營模式：其他

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聯(lián)系人：汪紀彬

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產品簡介

1200℃雙溫區(qū)3路質量供氣高真空CVD系統(tǒng)由雙溫區(qū)管式爐、三路質量流量計和高真空分子泵組組成。管式爐兩個溫區(qū)分別由精密控溫儀表獨立控溫，通過調節(jié)各個溫區(qū)的溫度，該管式爐可以在加熱區(qū)內形成兩段溫度梯度或是形成較長的恒溫區(qū)域。每個溫區(qū)均可編輯30段升降溫程序，同時有過熱和斷偶保護功能。1200℃雙溫區(qū)3路質量供氣高真空CVD系統(tǒng)爐管兩側法蘭配有數字式真空計和機械式壓力表，可以用來控制路管內的氣氛環(huán)境......

詳細介紹

1200℃雙溫區(qū)3路質量供氣高真空CVD系統(tǒng)管式爐采用高清真彩觸控屏操作，簡單易上手，即使是非專業(yè)人員經過簡單的培訓也可以熟練掌握儀器的使用方法，能夠極大的提高您的實驗效率。

系統(tǒng)所配有的三路質量流量計，精度高可靠性強，可以準確混合1~3路氣體，操作面板采用數字顯示，直觀高效。若客戶有特殊需要也可聯(lián)系技術人員定制任意數量的氣路。

本系統(tǒng)還配有精密分子泵組，可以達到1.0E-3pa級別的真空度，較普通機械泵可以為用戶提供更純凈嚴苛的實驗環(huán)境。

適用于高校、科研院所、工礦企業(yè)做高溫燒結、金屬退火、質量檢測等，尤其適合需要多種氣體混合的氣氛環(huán)境的CVD實驗。

技術參數：

真空管式爐	產品型號	CY-CVD1200-50-200×200-3TH-Q
	爐管材質	高純石英
	爐管直徑	50mm（可選配60mm、80mm、100mm）
	爐管長度	1000mm
	爐膛長度	440mm
	加熱區(qū)長	200mm+200mm
	工作溫度	0～1100℃
	控溫精度	±1℃
	控溫模式	30段或50段程序控溫
	顯示模式	LCD
	密封方式	304不銹鋼真空法蘭
	法蘭接口	1/4英寸卡套接頭、KF16/25/40接頭
	可抽真空	4.4E-3Pa
	供電電源	AC:220V 50/60Hz
供氣系統(tǒng)	產品型號	CY-3Z
	氣體通道	3通道
	測量部件	氣體質量流量計
	測量量程	A通道：0～100SCCM H2氣		備注：如需其它量程或氣體種類，定貨時需要特別注明?？筛鶕蛻舻木唧w要求來選配對應的氣體種類和量程的流量計。
		B通道：0～300SCCM N2氣
		C通道：0～500SCCM Ar氣
	測量精度	±1.0%F.S
	管道耐壓	3MPa
	工作壓差	50～300KPa
	連接管道	304不銹鋼
	控制閥門	304不銹鋼針閥
	接口規(guī)格	進氣口和出氣口為1/4英寸卡套接頭
	供電電源	AC:220V 50/60Hz
排氣系統(tǒng)	產品型號	CY-GZK103-A
	分子泵	CY-600
	前極泵	旋片泵
	抽氣速率	分子泵：600L/S	綜合抽氣性能：20分鐘真空度可達：1.0E-3Pa
		旋片泵：1.1L/S
	抽氣接口	KF40
	排氣接口	KF16
	真空測量	復合真空計：電阻規(guī)+電離規(guī)
	極限真空	1.0E-5Pa
	供電電源	AC:220V 50/60Hz