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GSL-1100X-SPC-16 單靶等離子濺射儀

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更新時間：2022-11-08 15:46:32瀏覽次數(shù)：444次

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產(chǎn)品簡介

GSL-1100X-SPC-16單靶等離子濺射儀是一款緊湊型的等離子濺射儀，可進行金、鉑、銦、銀等多種金屬的濺射鍍膜，樣品直徑可達(dá)50mm，鍍膜厚度可達(dá)300?，特別適用于SEM樣品的鍍膜

詳細(xì)介紹

GSL-1100X-SPC-16單靶等離子濺射儀是一款緊湊型的等離子濺射儀，可進行金、鉑、銦、銀等多種金屬的濺射鍍膜，樣品直徑可達(dá)50mm，鍍膜厚度可達(dá)300?，特別適用于SEM樣品的鍍膜。
功能特點
  • 設(shè)有真空表、濺射電流表，可實時監(jiān)控工作狀態(tài)。
  • 通過調(diào)節(jié)濺射電流控制器、微型真空氣閥，控制真空室壓強、電離電流及選擇所需要的電離氣體，以獲得鍍膜效果。
  • 鐘罩邊緣橡膠密封圈采用特殊設(shè)計，可保證長期使用不出現(xiàn)玻璃鐘罩崩邊現(xiàn)象。
  • 陶瓷密封高壓電極接頭比通常采用的橡膠密封更經(jīng)久耐用。
  • 根據(jù)電場中氣體電離特性，采用大容量濺射真空室和相應(yīng)面積濺射靶，使濺射鍍層更均勻純凈。
  • 已通過CE認(rèn)證。
技術(shù)參數(shù)
安裝條件 本設(shè)備要求在海拔1000m以下，溫度25℃±15℃，濕度55%Rh±10%Rh下使用。
水 不需要
電 AC220V 50Hz，必須有良好接地
氣 設(shè)備腔室內(nèi)需充注氬氣（純度99.99%以上），需自備氬氣氣瓶（帶減壓閥）
工作臺 尺寸600mm×600mm×700mm，承重50kg以上
通風(fēng)裝置 不需要
電源 220V
總功率 <2000W（包括真空泵）
真空室 ?160mm×120mm
樣品臺 ?50mm，且高度可調(diào)，可同時進行8個SEM樣品的鍍膜
均勻鍍膜 ?45mm
尺寸 400mm×300mm×400mm
重量 30kg
可選配件 金、銦、銀、鉑等各種靶材
標(biāo)準(zhǔn)配件 1 金靶材 1個
2 進氣針閥 1個
3 保險絲 2個
暫無內(nèi)容
暫無內(nèi)容

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