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從半導(dǎo)體到環(huán)保執(zhí)法:舒茨光聲光譜技術(shù),覆蓋全場景痕量氣體檢測需求

2025年08月22日 17:31:16人氣:260來源:江蘇舒茨測控設(shè)備股份有限公司

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在半導(dǎo)體潔凈室中,0.1ppb(十億分之一)的氣體泄漏可能造成整片晶圓報廢;在化工廠區(qū),ppm 級的有毒氣體殘留則潛藏著生產(chǎn)線的安全風險。如何精準檢測這些低濃度的氣體分子?舒茨SIGAS研發(fā)的光聲光譜技術(shù)另辟蹊徑,為這一問題提供了高效解決方案。

 

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光聲光譜核心原理

 

光聲光譜技術(shù)基于1880年貝爾發(fā)現(xiàn)的光聲效應(yīng),經(jīng)舒茨多年技術(shù)攻關(guān),已發(fā)展為工業(yè)安全領(lǐng)域的關(guān)鍵檢測手段。其工作原理為:當特定波長的光照射氣體分子時,分子吸收光能后,會通過發(fā)熱釋放能量,這一過程將引發(fā)周圍空氣振動,產(chǎn)生聲波。

 

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舒茨的分析儀通過高靈敏度微音器捕獲該聲波信號,再借助算法反向推導(dǎo),即可確定氣體分子的種類及濃度。

 

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與傳統(tǒng)紅外檢測技術(shù)相比,光聲光譜技術(shù)具有顯著優(yōu)勢:它不依賴光的直接吸收強度,而是通過“光→熱→聲”的能量轉(zhuǎn)化過程放大微弱信號,從而實現(xiàn)對0.1ppb級痕量濃度氣體的精準識別。

 

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從實驗室到產(chǎn)業(yè)端:舒茨技術(shù)的硬實力

 

為了讓這項技術(shù)真正落地服務(wù)于工業(yè)場景,舒茨通過三大技術(shù)突破,打破行業(yè)壁壘:

 

01抗干擾金鐘罩,復(fù)雜環(huán)境仍穩(wěn)定輸出

工業(yè)現(xiàn)場環(huán)境復(fù)雜多變:高溫、高濕、交叉干擾是常態(tài)。對此,舒茨專為分析儀披上了 “三層防護”:

 

 

恒溫光聲腔:50℃主動控溫,即使環(huán)境溫度從 - 20℃飆到 50℃,檢測精度波動<±0.5%;

動態(tài)濕度補償:內(nèi)置紅外濕度傳感器,實時 “過濾” 水分子干擾,抗干擾率>99%;

多級濾波算法:像“聲音凈化器”一樣,可從20多種干擾氣體中精準鎖定目標;

 

02智能化省心模式,把簡單還給用戶

 

 

SPT100 在線光聲光譜氣體分析儀支持全自動零點校準,三通路自動采樣,開機即測不等待;

 

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SPT200光聲氣體巡檢儀更“極致”:1.5kg重量單手可握,開機3秒完成校準,數(shù)據(jù)通過藍牙/WiFi直傳,輕便可靠,巡檢員都說好;

 

03從能檢測到可信任,權(quán)威認證背書

 

舒茨是國內(nèi)少數(shù)通過CMA/CNAS 雙認證的光聲光譜設(shè)備制造企業(yè),更是標準制定者:主導(dǎo)編制《集裝箱熏蒸操作規(guī)程》、《硫酰氟熏蒸技術(shù)規(guī)程》等國標;

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在線光聲光譜氣體分析設(shè)備被認定為江蘇省首臺(套)重大裝備,取得ATEX防爆認證;便攜光聲檢測儀產(chǎn)品出口東南亞、南美等12國,市占率穩(wěn)居行業(yè)前三;

 

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無論是半導(dǎo)體潔凈室三氟化氮的檢漏、糧倉滅蟲磷化氫的殘留,海關(guān)熏蒸硫酰氟的檢測還是環(huán)保執(zhí)法中二氧化硫排放的精準核驗,都是光聲光譜的標桿應(yīng)用場景;

 

從國門到糧倉,舒茨用光聲光譜技術(shù)重新定義安全邊界;這背后,是舒茨對國產(chǎn)精品的偏執(zhí)追求:線性度誤差<±1%,年漂移<2%,光聲腔體壽命超5年;

 

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對客戶來說,這意味著什么?

 

半導(dǎo)體廠商:0.1ppb的檢測精度,杜絕因氣體泄漏導(dǎo)致的晶圓報廢,減少損失;

化工廠:IP67防護+寬溫域設(shè)計,巡檢人員在高溫粉塵環(huán)境里也能快速定位泄漏源;

環(huán)保執(zhí)法:數(shù)據(jù)加密存證直傳監(jiān)管平臺,既符合標準要求,又避免“人情檢測”爭議;

糧倉糧庫:聯(lián)合中儲糧完成磷化氫→硫酰氟技術(shù)升級,覆蓋980個直屬庫,守牢糧食安全底線;

海關(guān)檢疫:支持硫酰氟/溴甲烷/磷化氫等多類熏蒸氣體快速切換,部署于全國37個直屬海關(guān),檢測效率提升300%;

從實驗室里的原理驗證,到生產(chǎn)現(xiàn)場的穩(wěn)定運行,舒茨用近十年的技術(shù)沉淀,讓光聲光譜這項“高深秘術(shù)”真正服務(wù)于安全生產(chǎn)的各個角落。每一臺分析儀里,都藏著舒茨對精準的堅持—舒茨光聲光譜技術(shù),精準測痕量氣體,深耕十年,守護更多領(lǐng)域安全生產(chǎn)。

 
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