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無錫徽科特測控技術(shù)有限公司作者
在負(fù)壓環(huán)境下選擇濕度傳感器是一個(gè)需要綜合考慮技術(shù)參數(shù)和實(shí)際應(yīng)用條件的專業(yè)問題。負(fù)壓環(huán)境(壓力低于常壓)會對濕度測量帶來獨(dú)特挑戰(zhàn)，選擇傳感器時(shí)需優(yōu)先評估以下幾點(diǎn)：
1.壓力兼容性
傳感器原理是否受壓力影響？某些原理(如電容式聚合物)的傳感器，其介電常數(shù)可能隨壓力變化，導(dǎo)致讀數(shù)漂移。
結(jié)構(gòu)完整性：傳感器封裝和探頭必須能承受壓差，防止變形、泄漏或破裂。需確認(rèn)其額定工作壓力范圍(包括真空度)。
2.防污染與凈化兼容性
負(fù)壓環(huán)境(如潔凈室、生物安全實(shí)驗(yàn)室、半導(dǎo)體工藝腔室)常用于防止污染物外泄，但內(nèi)部可能存在化學(xué)氣體、顆粒物或需要頻繁滅菌(如高溫高壓、VHP環(huán)氧乙烷)。
傳感器需具備抗污染、耐化學(xué)腐蝕、可清潔或耐受滅菌循環(huán)的能力。
3.取樣方式——原位安裝vs旁路取樣：
原位式：直接安裝在負(fù)壓腔室/管道壁上。需確保安裝密封性，且傳感器能適應(yīng)氣流狀態(tài)。
旁路取樣：通過管路將氣體引出至傳感器。需注意：取樣管路可能因壓差引入測量誤差(如環(huán)境空氣滲入)，且需保證取樣泵的兼容性。維持取樣回路與主環(huán)境的壓力平衡至關(guān)重要。
4.精度與響應(yīng)時(shí)間
在動態(tài)負(fù)壓系統(tǒng)中，快速響應(yīng)時(shí)間對過程控制非常重要。
明確所需精度(如±1.5%RH)和測量范圍(如0-100%RH)。
5.輸出信號與集成便利性
考慮與現(xiàn)有控制系統(tǒng)(PLC、SCADA)的兼容性：模擬輸出(4-20mA，0-10V)或數(shù)字輸出(RS485，I2C，以太網(wǎng))。
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